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1微电子工艺清洗技术的理论研究
在微电子元器件夜上海论坛的制造过程当中,由于其体积小、制造过程复杂等众多客观原因存在,将会很有可能导致微电子元器件在其步骤繁琐的制造过程当中受到污染。这些污染物质通常会物理吸附或者是化学吸附等多种方式在电子元器件生产过程当中吸附在其表面。比如说,硅胶材质的硅片在其制造过程中污染物质通常会以离子或者是以粒子形式吸附在硅片的表面。这些污染物质还有可能存在于硅片自身的氧化膜当中。产生这一现象的原因并不奇怪,这是由于这些污染物质破坏掉了硅片表面的化学键,从而导致了在其表面形成了自然的力场,让众多污染物质轻松吸附或者直接进入到硅片的氧化膜当中。在产生这种现象之后,要清洗硅片就非常困难了。在清洗过程中,既要保持不能去破坏硅片的结构,又要保持能够对污染物质进行彻底的清洗,以便其对产品结构当中的其他元器件产生污染,这一问题就变得非常棘手,愈发困难了。在当前微电子行业的大多企业或是研究所讲微电子的清洗技术两类:一种叫做湿法清洗;另一种叫做干法清洗。这两种技术都能够保持比较高的清洗度,并且能够在不破坏电子元器件的化学键的基础上祛除电子元器件表面或是氧化膜内存在的污染物和杂质。
夜上海论坛 2微电子工艺清洗技术的现状研究
由于我国行业的发展更重视对服务业的发展和我国微电子行业的起步和发展较晚,从而致使当前我国微电子工艺的清洗技术比较落后,并且存在诸多的问题。
2.1湿法清洗技术研究
夜上海论坛 湿法清洗这一技术,是由上个世纪六十年代的一名美国科学家所研究发明出来的。这种方法主要是通过利用化学溶剂同有机溶剂和被清洗的微电子元器件之间发生化学反应,然后再利用多种技术手段,如:超声波技术去污;采用真空去污技术等多种技术手段。最终,利用这些步骤实现对微电子元器件的清洗。
夜上海论坛 在以上湿法清洗电子元器件的步骤当中还需要用到种类不一的化学试剂。这些化学试剂主要包括氢氧化铵和过氧化氢以及硫酸等物质。氢氧化铵主要是被利用于对污染程度不是非常严重的电子元器件的清洗,或者是作为清洗第一部的化学试剂。其能够在控制的温度下、浓度下以及化学反应所经历的时间下等多种条件下,利用化学反应去腐蚀电子元器件的表面污染物质或者是金属的化合物。但是,由于这种腐蚀程度是需要多种条件来控制的,因此其对人员的技术和企业电子清洗设备的要求也是很高的,如果不能对整个过程实现严密的监控,将会对电子元器件造成损害。过氧化氢在清洗过程当中主要是被利用于对电子元器件的衬底进行清洗,通过清洗衬底上所附着的金属化合物质或者是络合物质。最后一种化学试剂(硫酸)在清洗过程当中扮演着非常重要的角色。在使用硫酸对被清洗电子元器件进行清洗过程中必须采用双氧水这一化学试剂来减少其反应的时间,并且降低硫酸的浓度、反应时候的温度,从而有效的减少了被清洗电子元器件碳化或者是被腐蚀严重的现象发生。以免让硫酸对电子元器件造成损害。湿法清洗技术在众多清洗技术当中是比较有效的一种技术,但是其依靠化学反应的客观因素,让其很有可能造成化学物质残留从而导致电子元器件被腐蚀的现象。
2.2干法清洗技术研究
干洗技术相对于湿洗技术来说其避免了使用化学试剂,从而大大减少了化学物质残留导致电子元器件腐蚀的现象发生。干洗技术主要是采用等离子、气相等清洗技术方式对电子元器件的金属化合物和络合物进行清洗。对于采用等离子技术为主的干洗技术,其具有残留物质少、操作难度低等技术性特点,并且在微电子元器件的清洗行业当中其研究最早、技术较为成熟,从而在当前我国微电子行业的应用最为广泛。但是,等离子技术也存在一定的弱点,就是其无法完全祛除存留于微点电子元器件表面的污染物。而气相技术的应用相对于等离子技术来说是非常少的,主要原因在于其花费时间长、成本高,并且在采用气相技术清洗过程主要是被应用于硅片元器件的清洗,对于其他元器件的适用程度较低。
夜上海论坛 3对微电子清洗技术的展望
从上文的分析当中可以发现,就我国企业当前的资金、人力等现状夜上海论坛来说,我国在微电子清洗工艺当中,应当采用干洗技术当中的等离子技术。这种微电子工艺清洗技术不需要进行二次清洗,就能够达到超过其他技术操作之后的结果。而对于其单次清洗过后残留的金属混合物来说,可以在继续采用其他清洗方式减少其污染物质含量,从而在保证电子元器件质量前提下在较短时间内较低微电子污染物的含量。
在我国当前的微电子清洗行业当中,干洗技术当中的等离子技术虽然应用广泛,但是受到我国企业实力等原因更多的企业仍在采用成本更低的湿洗技术。对于干洗技术由于发展较晚,依旧被更多的企业作为湿洗技术的辅助技术来使用。鉴于干洗技术更能保证产品质量、更加具有效率等优点,我国应当对干洗技术的研究引以重视,并对研究所干洗技术研发给予政策指引、资金支持,从而减少湿洗技术对自然环境的污染,促进我国社会主义绿色经济发展。作者相信并坚信,在未来我国微电子工艺清洗技术将会伴随着我国国家实力、教育改革进行的推进不断发展,从而解决微电子元器件清洗困难的现状。
参考文献
夜上海论坛 [1]李伙全,陈磊.微电子工艺实践课程网络教学平台的开发[J].科教文汇(上旬刊),2012(09).
[2]王蔚,田丽,付强.微电子工艺课/实验/生产实习的整合研究[J].中国现代教育装备,2012(23).
夜上海论坛 [3]梁齐,杨明武.微电子工艺实验教学模式探索[J].实验室科学,2008(01).
作者简介
温晓霞(1984-),女,硕士学位。现在广东海洋大学寸金学院从事电子工程教学工作。
作者单位
广东海洋大学寸金学院广东省湛江市524094
1微电子工艺清洗技术的理论研究
夜上海论坛 在微电子元器件的制造过程当中,由于其体积小、制造过程复杂等众多客观原因存在,将会很有可能导致微电子元器件在其步骤繁琐的制造过程当中受到污染。这些污染物质通常会物理吸附或者是化学吸附等多种方式在电子元器件生产过程当中吸附在其表面。比如说,硅胶材质的硅片在其制造过程中污染物质通常会以离子或者是以粒子形式吸附在硅片的表面。这些污染物质还有可能存在于硅片自身的氧化膜当中。产生这一现象的原因并不奇怪,这是由于这些污染物质破坏掉了硅片表面的化学键,从而导致了在其表面形成了自然的力场,让众多污染物质轻松吸附或者直接进入到硅片的氧化膜当中。在产生这种现象之后,要清洗硅片就非常困难了。在清洗过程中,既要保持不能去破坏硅片的结构,又要保持能够对污染物质进行彻底的清洗,以便其对产品结构当中的其他元器件产生污染,这一问题就变得非常棘手,愈发困难了。在当前微电子行业的大多企业或是研究所讲微电子的清洗技术两类:一种叫做湿法清洗;另一种叫做干法清洗。这两种技术都能够保持比较高的清洗度,并且能够在不破坏电子元器件的化学键的基础上祛除电子元器件表面或是氧化膜内存在的污染物和杂质。
2微电子工艺清洗技术的现状研究
由于我国行业的发展更重视对服务业的发展和我国微电子行业的起步和发展较晚,从而致使当前我国微电子工艺的清洗技术比较落后,并且存在诸多的问题。
夜上海论坛 2.1湿法清洗技术研究
夜上海论坛 湿法清洗这一技术,是由上个世纪六十年代的一名美国科学家所研究发明出来的。这种方法主要是通过利用化学溶剂同有机溶剂和被清洗的微电子元器件之间发生化学反应,然后再利用多种技术手段,如:超声波技术去污;采用真空去污技术等多种技术手段。最终,利用这些步骤实现对微电子元器件的清洗。
在以上湿法清洗电子元器件的步骤当中还需要用到种类不一的化学试剂。这些化学试剂主要包括氢氧化铵和过氧化氢以及硫酸等物质。氢氧化铵主要是被利用于对污染程度不是非常严重的电子元器件的清洗,或者是作为清洗第一部的化学试剂。其能够在控制的温度下、浓度下以及化学反应所经历的时间下等多种条件下,利用化学反应去腐蚀电子元器件的表面污染物质或者是金属的化合物。但是,由于这种腐蚀程度是需要多种条件来控制的,因此其对人员的技术和企业电子清洗设备的要求也是很高的,如果不能对整个过程实现严密的监控,将会对电子元器件造成损害。过氧化氢在清洗过程当中主要是被利用于对电子元器件的衬底进行清洗,通过清洗衬底上所附着的金属化合物质或者是络合物质。最后一种化学试剂(硫酸)在清洗过程当中扮演着非常重要的角色。在使用硫酸对被清洗电子元器件进行清洗过程中必须采用双氧水这一化学试剂来减少其反应的时间,并且降低硫酸的浓度、反应时候的温度,从而有效的减少了被清洗电子元器件碳化或者是被腐蚀严重的现象发生。以免让硫酸对电子元器件造成损害。湿法清洗技术在众多清洗技术当中是比较有效的一种技术,但是其依靠化学反应的客观因素,让其很有可能造成化学物质残留从而导致电子元器件被腐蚀的现象。
夜上海论坛 2.2干法清洗技术研究
干洗技术相对于湿洗技术来说其避免了使用化学试剂,从而大大减少了化学物质残留导致电子元器件腐蚀的现象发生。干洗技术主要是采用等离子、气相等清洗技术方式对电子元器件的金属化合物和络合物进行清洗。对于采用等离子技术为主的干洗技术,其具有残留物质少、操作难度低等技术性特点,并且在微电子元器件的清洗行业当中其研究最早、技术较为成熟,从而在当前我国微电子行业的应用最为广泛。但是,等离子技术也存在一定的弱点,就是其无法完全祛除存留于微点电子元器件表面的污染物。而气相技术的应用相对于等离子技术来说是非常少的,主要原因在于其花费时间长、成本高,并且在采用气相技术清洗过程主要是被应用于硅片元器件的清洗,对于其他元器件的适用程度较低。
夜上海论坛 3对微电子清洗技术的展望
从上文的分析当中可以发现,就我国企业当前的资金、人力等现状来说,我国在微电子清洗工艺当中,应当采用干洗技术当中的等离子技术。这种微电子工艺清洗技术不需要进行二次清洗,就能够达到超过其他技术操作之后的结果。而对于其单次清洗过后残留的金属混合物来说,可以在继续采用其他清洗方式减少其污染物质含量,从而在保证电子元器件质量前提下在较短时间内较低微电子污染物的含量。
关键词:航空电子元器件 质量控制 措施
中图分类号:V260 文献标识码:A 文章编号:1672-3791(2015)04(c)-0123-01
伴随航空工业技术日新月异的发展,对单一航空型号电子元器件的使用越来越广泛,使用数量越来越多,所以对于电子元器件的质量来说,对航空事业的发展起到一定的作用。航空电子元器件在使用的过程中不断进行改造与更新,在设计、选材、工艺及生产制造方面都展现出一定的优势,使电子元器件的质量有所提高。但为了更好的适应航空航天的型号,电子元器件的质量与安全可靠性还应进行科学合理的改造与提高。因此,在航空电子元器件的选择、采购及检测的过程中,应加强对其质量的控制,使其能够在航空工业中得到充分的运用。
1 电子元器件质量保证的意义
电子元器件是所有电子设备的重要组成部分,它的质量对电子设备的正常运行具有重要作用。近年来,随着我国国防科技的发展,逐渐将电子元器件应用于航空工业中,使其走向智能化、电子化。电子元器件的大量使用,使其品种逐渐增多,适用于各个领域。现阶段,电子元器件的质量问题是其生产制造工作的重中之重,其作用在当下社会也日益突显。电子元器件作为航空产品中重要的组成部分,其性能与质量需要有一定的技术基础。电子元器件的质量分为固有质量和使用质量两种。固有质量是由生产部门决定的,包括其设计、选材及工艺等。使用质量则是由电子元器件的使用者对其进行选择、采购及检测等,最终对其质量进行控制。电子元器件的质量保证是为保证电子元器件的质量而进行的相关活动,对其生产部门与使用者进行质量的控制工作。航空电子元器件的质量是保证航空型号电子元器件使用过程中是否可靠的重要条件,也是确保航空产品及工作顺利进行的重要基础。
夜上海论坛 2 航空电子元器件特点
夜上海论坛 近年来,我国高新技术不断发展,现代武器设备都逐渐应用电子化与自动化的技术,使其更加智能。据相关数据显示,在设备系统稳定可靠的前提下,对其零件与元件的质量可靠性越高。而航空工业中对电子元器件的使用日渐增多,所以,为保证其系统的稳定与可靠,就应保证电子元器件的质量达到一定的标准。
航空电子元器件的特点有四个:可靠性强,寿命长,体积轻便且功耗低,环境适应能力强。
2.1 可靠性强
夜上海论坛 为适应航空型号,电子元器件在寿命、质量及可靠性方面应积极展现其自身的优势。航空电子元器件的可靠性表现在多方面,首先,对于电子元器件的性能来说,应以满足航空专业的稳定可靠为主,在一定的时间内应保证不影响航空产品的性能。除此之外,电子元器件对于不同的环境条件应具有一定的适应能力,不会因为周围环境的影响使其自身的功能削弱,而影响航空产品的整体使用效果。航空电子元器件在生产制造的过程中应根据相应的生产规范进行生产,并制定相关的制度与规范,进而确保不同等级的电子元器件能够具有一定的可靠性,在实际的应用中发挥自身的作用。
2.2 寿命长
电子元器件的寿命与其较强的可靠性具有一定的密切联系,只有电子元器件的使用寿命延长,才能保证其较高的可靠性。针对工作周期不长的航空产品来说,可以采用寿命较短的电子元器件,但由于航空产品具有相当的重要性,所以在电子元器件的选择上仍以寿命长的元器件为主。
2.3 体积轻便且功耗低
航空产品中元器件的功耗、体积的有效降低对航空产品的整体功耗及体积来说具有一定的减轻作用。降低电子元器件的重量与体积不仅要对其进行结构的改造,同时也应对装联工艺进行相应的改造。在航空电子元器件功能不改变的前提下,对其质量与体积进行相应的改造,并减少其功耗,进而促进航空电子元器件质量的提高。
2.4 环境适应能力强
夜上海论坛 航空产品主要用于环境较为恶劣的条件下,所以其电子元器件也应具有一定的环境适应能力,在各种环境下都不会影响其自身功能的发挥,有效的促进航空产品的高效使用。
3 航空电子元器件质量保证体系
3.1 技术队伍的建设
针对航空电子元器件的质量与可靠性的研究设立了相关的岗位,并根据相关的研究情况对其进行有效的改造。针对设立的不同岗位,其工作内容与职务各不相同,但都为航空事业及电子元器件的改造工作共同努力。航空技术队伍的建设,一定程度上对航空电子元器件的质量控制工作做出了相应的贡献。
3.2 航空电子元器件质量保证对策
3.2.1 电子元器件生产单位实行质量认证
夜上海论坛 加强对电子元器件生产单位的质量认证工作,在航空产品的电子元器件的选择方面,应尽量选择质量好且生产情况稳定的元器件供应商。这对于航空产品的稳定性与可靠性具有积极的意义。
夜上海论坛 3.2.2 建立健全航空电子元器件标准体系
夜上海论坛 航空电子元器件标准体系的建立是对其设计的规范,同时对于强化元器件的质量控制具有重要意义。现阶段,我国仅参考国外先进的电子元器件标准体系进行我国标准体系的建设。但由于我国的工业基础较落后,所以对于既有的标准无法进行实际有效的运行。因此,我国应以自身的实际情况为基础,建立符合我国国情的航空电子元器件标准体系。
3.2.3 重视电子元器件目录的编制工作
对于电子元器件目录的编制工作应予以一定的重视,因为不同型号元器件的有效记录对于元器件型号的选用时具有一定的辅助作用,能够有效的对其进行采购管理,同时也能够保证元器件型号的稳定性。
3.2.4 建立电子元器件信息管理平台
夜上海论坛 为加强航空电子元器件的质量控制工作,对电子元器件的信息管理工作十分重要。通过对相关信息的有效管理,实现元器件使用部门与生产部门的有效沟通与连接。
4 结语
综上所述,伴随我国航空事业的飞速发展,对航空产品起到至关重要作用的航空电子元器件越来越得到众多的关注。文章通过对航空电子元器件质量控制工作的意义及其特点进行详细的分析,探究出航空电子元器件质量控制工作的具体策略与建议。通过对电子元器件自身特点的分析,找出有效提高其质量控制的方法。航空工业的发展一定程度上带动了我国社会经济的发展,同时也提高了我国航空事业在国际中的地位。所以,对于航空电子元器件质量的控制工作应予以一定的重视,对于航空事业的发展具有一定的推动作用。
参考文献
夜上海论坛 [1] 胡筱红,史左敏,周航,等.浅析航空电子元器件的质量控制[J].消费电子,2014(6).